用于真空镀膜机的二维镀膜转架
基本信息
| 申请号 | CN201920796095.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210001926U | 公开（公告）日 | 2020-01-31 |
| 申请公布号 | CN210001926U | 申请公布日 | 2020-01-31 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）; C23C14/35（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 关秉羽 | 申请（专利权）人 | 辽宁鑫金铂科技有限公司 |
| 代理机构 | 铁岭天工专利商标事务所 | 代理人 | 辽宁鑫金铂科技有限公司;辽宁北宇真空科技有限公司 |
| 地址 | 112600 辽宁省铁岭市铁岭县工业园区懿路工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的二维镀膜转架，包括一维转动盘，一维转动盘上装有动力输入轴，沿一维转动盘的圆周装有多个转杆，每个转杆上固装有镀膜工件圆盘，与一维转动盘平行的圆环形盖板装在所述多个转杆的顶端，还包括有与一维转动盘平行且位于其下方的定齿盘，所述动力输入轴通过定齿盘轴承装于定齿盘的中心位置，动力输入轴的输入端伸至定齿盘的下方；多个所述转杆分别通过转杆轴承间隔均布装在一维转动盘的圆周上，每个转杆的顶端具有转杆轴，每个转杆以其顶端的转杆轴可转动地装在所述圆环形盖板上，每个转杆的底端固装有与所述定齿盘相啮合的底齿轮。应用本实用新型后对工件的镀膜效率较高、工件表面所镀膜层也相对均匀。 |
