一种3D堆叠且背部导出的扇出型封装结构及其制造方法

基本信息

申请号 CN202110759529.1 申请日 -
公开(公告)号 CN113257778A 公开(公告)日 2021-08-13
申请公布号 CN113257778A 申请公布日 2021-08-13
分类号 H01L23/498(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L25/04(2014.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L21/52(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 杨国江;高军明 申请(专利权)人 江苏长晶科技股份有限公司
代理机构 南京华讯知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 刘小吉
地址 210000江苏省南京市江北新区研创园腾飞大厦C座13楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种3D堆叠且背部导出的扇出型封装结构及其制造方法。该扇出型封装结构包括载板(晶圆)、芯片、塑封层、第一重布线层、第一介质层、第二重布线层和第二介质层。该扇出型封装结构实现双面扇出,能有效降低封装成本并拓宽该结构的应用范围;该结构主要依靠对于基板的设计实现芯片正反面的互连互通,而非基于TSV通孔,能有效降低工艺难度,使用通用设备即可实现加工生产;另外,该扇出型封装结构可以缩短连接距离,在产品性能,特别是电性能和信号传输方面具有很大的优势,其损耗更小,效率更高,而且响应时间更短。