LA-ICP-MS动态变形束斑的测试方法与设备
基本信息
| 申请号 | CN202210184932.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114509493A | 公开（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申请公布号 | CN114509493A | 申请公布日 | 2022-05-17 |
| 分类号 | G01N27/626（2021.01）I;G01N1/28（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨溢;戴智慧;刘建忠;李阳;李瑞;曾小家;谷亚亚;张莉;籍进柱 | 申请（专利权）人 | 中国科学院地球化学研究所 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | - |
| 地址 | 550002贵州省贵阳市观山湖区林城西路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种LA‑ICP‑MS动态变形束斑的测试方法与设备，所述方法包括获取样品表面物相边界形状与所述样品的内部的三维物相分布；根据所述样品的三维物相分布确定目标颗粒和标样，并对所述标样进行激光斑控制，得到所述目标颗粒的束斑；根据所述三维物相分布获取每次剥蚀分层，并根据所述三维物相分布对应的目标颗粒剥蚀分层截面的形状，确定光束变形片对应样品的目标颗粒截面形状变化序列；所述光束变形片的亮区形状对应待剥蚀的所述束斑的截面形状的几何相似图形；按所述目标颗粒截面形状变化序列的顺序对所述光束变形片进行逐帧运行，以使光束对所述样品进行剥蚀。本发明能够提高样品成分数据的准确性，并节约样品。 |
