静电驱动MEMS梳齿结构、采用该结构的微镜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202210508327.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114594594A | 公开（公告）日 | 2022-06-07 |
| 申请公布号 | CN114594594A | 申请公布日 | 2022-06-07 |
| 分类号 | G02B26/08;C23C14/22;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 姜军委;张妮妮;刘青峰;马力;杨涛;彭磊;李欢欢;王芳 | 申请（专利权）人 | 西安知象光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 西安智大知识产权代理事务所 | 代理人 | 弋才富 |
| 地址 | 710000 陕西省西安市高新区丈八街办锦业路69号创业研发园C区1号瞪羚谷70104室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 静电驱动MEMS梳齿结构、采用该结构的微镜及其制备方法；静电驱动MEMS梳齿结构，其梳齿表面具有绝缘层，相邻梳齿表面的绝缘层是同一种绝缘层或者不同绝缘层；采用静电驱动MEMS梳齿结构的微镜从下到上依次由基底、隔离层以及器件层构成；微镜的制作方法采用高温氧化、等离子增强化学气相沉积、低压化学气相沉积、常压化学气相沉积、物理沉积、原子层沉积或分步异质沉积法制作绝缘层；即在驱动梳齿表面和接地梳齿表面得到相同或者不同的绝缘层；当驱动梳齿与接地梳齿产生吸附，则二者表面的绝缘层接触，不形成短路，具有良好的绝缘效果；本发明的防止吸附损坏的静电驱动式MEMS微镜结构紧凑，工艺简单。 |
