一种具有电磁屏蔽功能的芯片堆叠封装体及其制备方法

基本信息

申请号 CN201911382618.8 申请日 -
公开(公告)号 CN111128901B 公开(公告)日 2021-09-14
申请公布号 CN111128901B 申请公布日 2021-09-14
分类号 H01L23/29;H01L23/31;H01L23/552;H01L25/065 分类 基本电气元件;
发明人 狄隽;王升旭;王志明;王强济;岳超;许兰锋 申请(专利权)人 航天科工微系统技术有限公司
代理机构 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 杨光
地址 210000 江苏省南京市江北新区星火路14号长峰大厦1号楼13层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种具有电磁屏蔽功能的芯片堆叠封装体及其制备方法,属于集成电路技术领域,解决了由于微波/毫米波芯片之间距离缩小带来的电磁信号互相干扰的问题。具有电磁屏蔽功能的芯片堆叠封装体,包括微波/毫米波裸芯片和用于封装微波/毫米波裸芯片的封装结构,封装结构包括依次设置于微波/毫米波裸芯片上的封装介质层和封装金属布线层。本发明体积更小、集成程度更高,能够保护敏感的微波/毫米波裸芯片免受其它电磁场的干扰。