一种晶圆缺陷检测机台
基本信息
| 申请号 | CN202120469546.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214313173U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214313173U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李云华;黄雷 | 申请（专利权）人 | 江苏矽智半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215334江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号1号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆缺陷检测机台，包括测试台，所述测试台的顶部两侧均设置有立板，所述立板的顶部之间设置有顶板，所述顶板的底部设置有光学检测装置，所述立板的底部之间设置有固定组件，所述固定组件两侧的两端均设置有滑动杆，所述滑动杆远离所述固定组件的一端均设置有滑动块一，且所述立板的内侧均开设有与所述滑动块一相配合的滑槽，所述固定组件两侧的中间位置均设置有旋转组件。有益效果：可以实现对晶圆的固定，从而有效地提高了晶圆在测试台上的稳定性，有效地避免了因晶圆随意移动而影响光学检测装置在其表面上的照射效果，从而有效地保证了晶圆的检测效果。 |
