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一种晶圆测试台

基本信息

申请号 CN202020558757.3 申请日 -
公开（公告）号 CN212083498U 公开（公告）日 2020-12-04
申请公布号 CN212083498U 申请公布日 2020-12-04
分类号 G01R1/04(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I 分类 测量；测试;
发明人 李云华;尹伟 申请（专利权）人 江苏矽智半导体科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 226400江苏省南通市南通高新区金川路东、油榨路北
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆测试台，包括底板，底板的顶端依次设置有显微镜组件、晶圆放置台及六轴机械臂，且晶圆放置台位于底板的中心位置，显微镜组件位于晶圆放置台的一侧，六轴机械臂位于底板的一端，且显微镜组件与六轴机械臂相垂直，显微镜组件的镜头位于晶圆放置台的上方，六轴机械臂远离底板的一端设置有夹持机构，夹持机构底部夹持有探针，晶圆放置台包括设置在底板顶端的固定板，固定板的上方设置有安装板，固定板的顶端与安装板的底端分别对应设置有若干U形固定架，U形固定架内侧设置有转动框，位于同一竖直方向的两个转动框通过转动杆连接。有益效果：提高晶圆测试的精准度。