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一种光栅横向剪切干涉波前重建过程中的补偿方法

基本信息

申请号 CN202110720859.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113432731B 公开（公告）日 2022-06-28
申请公布号 CN113432731B 申请公布日 2022-06-28
分类号 G01J9/02（2006.01）I;G01J9/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 李鹏;唐锋;王向朝;卢云君;刘洋 申请（专利权）人 中国科学院上海光学精密机械研究所
代理机构 上海恒慧知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 201800上海市嘉定区清河路390号
法律状态 -

摘要

摘要 一种光栅横向剪切干涉波前重建过程中光瞳坐标畸变和剪切量变化的同时补偿方法。波前经过光栅衍射后各级次衍射波前的形状及光路均不相同，使得一方面探测器平面检测到的坐标系相对光瞳坐标系存在畸变，另一方面剪切量随着坐标位置发生变化。该方法通过追迹各级次衍射波前的光路，计算得出待测波前在光瞳面内的坐标系与各级次衍射波前在探测器面内的坐标系之间的变换关系；由该坐标系变换关系可以得知探测器面上各个位置处检测到的剪切相位与待测波前中相位的对应关系，进而可以构建对应的波前多项式集合，并通过拟合的方式得到待测波前的多项式拟合结果，同时补偿光瞳坐标系畸变和剪切量变化。