一种高世代钼靶材的生产方法
基本信息
| 申请号 | CN201810400974.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108642457A | 公开（公告）日 | 2018-10-12 |
| 申请公布号 | CN108642457A | 申请公布日 | 2018-10-12 |
| 分类号 | C23C14/34;B22F1/00;B22F3/04;B22F3/03;B22F3/093;B22F3/10;B22F3/18;B22F3/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李鹏;李家旺;付立政 | 申请（专利权）人 | 湖南有色新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙永星专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 周咏 |
| 地址 | 410200 湖南省长沙市望城经济开发区金星路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高世代钼靶材的生产方法，该生产方法包括：1、将两种粒径范围不同的钼粉在真空条件下混合，过筛后得到混合粉料；2、将混合粉料进行等静压处理；3、烧结处理；4、热轧处理；5；真空退火；6、水切割、铣削加工、磨床加工。通过该方法得到的钼靶材的长度可达3500mm以上，厚度≤30mm，宽度≤600mm，平面度小于0.08mm，钼含量≥99.97％，该生产方法的生产效率高，所得高世代钼靶材的致密度≥99.5％，钼靶材内部组织无气孔、裂纹、分层、夹杂等缺陷，其表面粗糙度＜0.6um，平均晶粒≤80um，晶粒均匀，可作为G10.5代线平面显示器生产的高纯钼靶；本发明提供的高世代钼靶材的生产方法，制备方法简单，生产成本较低，成品率高，有利于工业化生产。 |
