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一种高世代钼靶材的生产方法

基本信息

申请号	CN201810400974.7	申请日	-
公开（公告）号	CN108642457B	公开（公告）日	2018-10-12
申请公布号	CN108642457B	申请公布日	2018-10-12
分类号	C23C14/34(2006.01)I	分类	-
发明人	李鹏;李家旺;付立政	申请（专利权）人	湖南有色新材料科技有限公司
代理机构	长沙永星专利商标事务所（普通合伙）	代理人	周咏
地址	410200湖南省长沙市望城经济开发区金星路99号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种高世代钼靶材的生产方法，该生产方法包括：1、将两种粒径范围不同的钼粉在真空条件下混合，过筛后得到混合粉料；2、将混合粉料进行等静压处理；3、烧结处理；4、热轧处理；5；真空退火；6、水切割、铣削加工、磨床加工。通过该方法得到的钼靶材的长度可达3500mm以上，厚度≤30mm，宽度≤600mm，平面度小于0.08mm，钼含量≥99.97％，该生产方法的生产效率高，所得高世代钼靶材的致密度≥99.5％，钼靶材内部组织无气孔、裂纹、分层、夹杂等缺陷，其表面粗糙度＜0.6um，平均晶粒≤80um，晶粒均匀，可作为G10.5代线平面显示器生产的高纯钼靶；本发明提供的高世代钼靶材的生产方法，制备方法简单，生产成本较低，成品率高，有利于工业化生产。