检测窗口、化学机械抛光垫及抛光系统
基本信息
| 申请号 | CN202110834098.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113478382A | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN113478382A | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | B24B37/20（2012.01）I;B24B37/04（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王腾;刘敏;罗乙杰;王淑芹;杨浩;林文多 | 申请（专利权）人 | 湖北鼎汇微电子材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 430057湖北省武汉市经济技术开发区东荆河路1号411号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了涉及化学机械抛光技术领域的检测窗口、化学机械抛光垫及抛光系统。本发明检测窗口设置在抛光层中，包括透光部和加强部，透光部下表面设置凹陷区域，加强部位于凹陷区域内，加强部与透光部一体成型或粘合为一体；所述加强部设置镂空部分，0＜镂空部分横截面积≤凹陷区域横截面积的80％；进一步地，所述加强部中部镂空和/或边缘镂空，优选为加强部中部镂空、互不连通的加强部中部镂空和边缘镂空。本发明提供的检测窗口，窗口强度提高，压缩比减小，能有效降低晶圆划伤，并且提高抛光垫使用寿命。 |
