一种乙硅烷残气瓶处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202111176231.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113970064A | 公开（公告）日 | 2022-01-25 |
| 申请公布号 | CN113970064A | 申请公布日 | 2022-01-25 |
| 分类号 | F17C5/06（2006.01）I;F17C7/04（2006.01）I;F17C13/00（2006.01）I;F17D1/065（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 杨金龙;魏入铎;刘广登;邹来飞;谢家道 | 申请（专利权）人 | 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨静 |
| 地址 | 239000安徽省滁州市全椒县襄河镇儒林路政务中心八号楼717室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种乙硅烷残气瓶处理装置，包括钢瓶，钢瓶上连接有主管路，钢瓶外侧设置有加热带，主管路外端连接有真空泵，主管路左侧连接有左支路，左支路外端分别连接换气罐，主管路右侧连接有右支路，右支路外端为排放口。本发明通过在钢瓶外侧设有加热带进行加热，将瓶内的液相气体快速转变为气相，便于置换处理，减少置换气的加入次数，降低能耗，缩短处理时间，结构简单，使用便捷。 |
