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一种含硅烷尾气的安全排放装置

基本信息

申请号 CN202111176114.8 申请日 -
公开（公告）号 CN113813748A 公开（公告）日 2021-12-21
申请公布号 CN113813748A 申请公布日 2021-12-21
分类号 B01D53/18（2006.01）I;B01F7/24（2006.01）I;B01D46/00（2006.01）I;B01D29/03（2006.01）I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 张俊杰;王乐强 申请（专利权）人 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 代理人 杨静
地址 239000安徽省滁州市全椒县襄河镇儒林路政务中心八号楼717室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种含硅烷尾气的安全排放装置，包括排放主管，排放主管下端连接有排放支管，排放支管下端对应设置有吸收槽，吸收槽内注有吸收液，所述排放支管采用树状结构多级分布设置，排放支管最下端伸入到吸收槽内并置于吸收液液面下侧，排放支管最下端表面设有若干个排放孔。过采用排放支管将尾气分流排放，使尾气分散流动，尾气沿排放支管进入到吸收槽内并与吸收液接触，从而快速反应处理，结构简单，使用便捷。