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一种乙硅烷低温精馏装置

基本信息

申请号 CN201520817748.0 申请日 -
公开（公告）号 CN205115061U 公开（公告）日 2016-03-30
申请公布号 CN205115061U 申请公布日 2016-03-30
分类号 C01B33/107(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 郑春宁;何波;徐昕 申请（专利权）人 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
代理机构 南京众联专利代理有限公司 代理人 顾进
地址 239500 安徽省滁州市全椒县襄河镇儒林路政务中心八号楼717室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种乙硅烷低温精馏装置，包括第一精馏塔釜和第二精馏塔釜，所述的第一精馏塔釜和第二精馏塔釜的塔顶分别连接有第一冷凝器和第二冷凝器，塔底分别连接有第一再沸器和第二再沸器，第一精馏塔的塔顶液出口与废液回收罐相连，第一精馏塔的塔釜液出口与出料管相连，所述的出料管分为2路，一路并入反应釜的进料管，另一路与第二精馏塔的进料口相连，第二精馏塔的塔顶出料口与为反应釜供料的液氨储罐相连，第二精馏塔的塔釜出料口与乙硅烷储罐相连，采用二级低温精馏，使乙硅烷纯度达到99.995%的质量标准，方便厂家的生产超大规模集成电路20纳米以下的高端芯片的高纯度4N的乙硅烷，实用范围广。