一种制备氯代硅烷的方法
基本信息
| 申请号 | CN202111056533.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113912066A | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN113912066A | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | C01B33/107（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 王乐强;张俊杰;李强强;俞冬雷 | 申请（专利权）人 | 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨静 |
| 地址 | 239500安徽省滁州市全椒县十字镇杨岗大道88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种制备氯代硅烷的方法，向等离子体反应器内注入硅烷气体和氯化氢气体，两者体积比为1:1‑1:4，在反应压力为0.1‑6kpa、反应温度为60‑350℃、反应停留时间在0.1‑30s的条件下进行反应最终得到SIH3Cl、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4；等离子体反应器的等离子体发生器功率为0.01‑5W/cm3，等离子体发生器功率0.5‑150MHZ。本发明不需要催化剂的参与，避免了由于催化剂的老化带来的制备效果的下降以及频繁的更换催化剂。本发明相比与合成法制备，选择等离子体放电制备氯代硅烷对单氯硅烷的选择性更高。 |
