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连续生产乙硅烷的方法及反应系统

基本信息

申请号 CN202111452068.X 申请日 -
公开（公告）号 CN114180580A 公开（公告）日 2022-03-15
申请公布号 CN114180580A 申请公布日 2022-03-15
分类号 C01B33/04（2006.01）I 分类 无机化学;
发明人 陈涵斌;郑锐;许澄诚 申请（专利权）人 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 代理人 李寰
地址 239500安徽省滁州市全椒县十字镇杨岗大道88号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种在微负压的条件下利用热等离子体辅助加工硅粉与金属粉体，促使硅粉与金属粉体连续反应生成金属硅化物粉体，并以该金属硅化物粉体作为原料在特定溶剂中与强酸反应制备乙硅烷的方法及实现该方法的反应系统。本发明利用热等离子体的高能量密度，使硅粉与金属粉体在等离子核心区域发生瞬间的熔化及汽化过程，再急速冷却完成合金化及化学反应并形成纳米级的金属硅化物粉体；在微负压的条件下，使形成的纳米级金属硅化物粉体与强酸在特定溶剂中反应，可生成硅烷系列的产品气体，且其中乙硅烷的比例显著高于现有的生产工艺；同时，全工艺流程在微负压条件下进行，操作安全且易于控制并可实现连续化生产。