首页/ 广东顺德农村商业银行股份有限公司南海支行/ 专利详情

一种集成电路用磷铜阳极的制备方法及其系统

基本信息

申请号 CN201611070135.0 申请日 -
公开（公告）号 CN106381410B 公开（公告）日 2019-01-22
申请公布号 CN106381410B 申请公布日 2019-01-22
分类号 C22C1/03;C22C9/00;B22D11/14;C22F1/08 分类 冶金；黑色或有色金属合金；合金或有色金属的处理;
发明人 林伟文;谭发棠;周建新;周腾芳 申请（专利权）人 广东顺德农村商业银行股份有限公司南海支行
代理机构 深圳市精英专利事务所 代理人 冯筠
地址 528000广东省佛山市南海区九江镇沙咀村九江工业区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种集成电路用磷铜阳极的制备方法和熔炼炉及其系统，该方法包括原材料采用铜含量达到99.99％以上的A级电解铜以及单项杂质不大于0.003％的高磷铜合金；真空熔炼与连铸：选用真空的熔炼炉对所述A级电解铜以及高磷铜合金进行铜、磷的合成以及牵引，获取磷铜合金铸锭；微晶处理：在真空状态下对所述磷铜合金铸锭进行微晶处理；冷态加工成形：在常温下对微晶处理后的所述磷铜合金铸锭进行加工成形，获得集成电路用磷铜阳极。本发明通过对原材料真空熔炼与连铸，在真空状态下微晶处理，常温下加工成形，实现制造工艺简单，制备的集成电路用磷铜阳极具有很高的填充能力，且具有更高的延展性，铜的纯度高与晶粒度小且均匀。