一种用于盘、饼状工件外缘金刚石涂层的装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202111356085.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114086150A | 公开（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申请公布号 | CN114086150A | 申请公布日 | 2022-02-25 |
| 分类号 | C23C16/27（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/46（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 姚毅;曾祥才;马骏;丰杰;范云贵;罗鑫 | 申请（专利权）人 | 久钻科技（成都）有限公司 |
| 代理机构 | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王大刚 |
| 地址 | 641400四川省成都市简阳市工业集中发展区贾家中小企业园（简阳市贾家镇民房村、天宫山村） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于盘、饼状工件外缘金刚石涂层的装置及方法，通过设置冷却装夹轴，并控制冷媒在冷却装夹轴内的流量、压力等因素，以影响金刚石涂层过程中金刚石生长的温度梯度，从而让金刚石有效的生长；通过设置动力系统，并与热丝、冷却装夹轴配合，可以让工件旋转运动，从而解决涂层不均匀迹象；可以根据盘、饼类薄形工件形状、大小的不同，设置不同热丝，以及进行热丝的不同布设位置和方式，可以提高沉积效率。 |
