一种金刚石薄膜加工方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202111183392.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113913781A | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN113913781A | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | C23C16/27（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曾祥才;姚毅;马骏;罗鑫 | 申请（专利权）人 | 久钻科技（成都）有限公司 |
| 代理机构 | 成都市集智汇华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 冷洁;刘畅 |
| 地址 | 641400四川省成都市简阳市工业集中发展区贾家中小企业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种金刚石薄膜加工方法及装置，在工件横向两侧布置相互平行的热丝，所述热丝进行加热以在工件的待加工区域沉积加工出金刚石薄膜，在沉积加工过程中，所述工件沿竖向进行自转，并且所述热丝沿高度方向进行往复运动或者所述工件沿高度方向进行往复运动。本发明能使得热丝产生的热量均匀覆盖工件的待加工区域，提高工件的受热均匀，确保工件的待加工区域的各个部位都能均匀被热丝加热作用，保障金刚石薄膜的生成质量，提高薄膜厚度均匀性、薄膜与基体的结合力，能在异形工件或大尺寸工件的表面上制备出高耐磨性的金刚石薄膜，大幅提高工件的使用寿命。 |
