多通道离子源产生装置
基本信息
| 申请号 | CN201811626775.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109786203B | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN109786203B | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱岩;王文宝;周敏;李军旗 | 申请（专利权）人 | 基准精密工业（惠州）有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 | 代理人 | 汪飞亚;薛晓伟 |
| 地址 | 516100广东省惠州市博罗县龙溪镇夏寮村委会大门村小组十二沟地段 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种多通道离子源产生装置，包括：热电子发生器以及与热电子发生器相连通的电离腔室，所述热电子发生器能产生并输送热电子至电离腔室，所述电离腔室侧壁设置有多个独立的进气通道以及与进气通道一一对应的射出通道，经所述热电子发生器产生的热电子或者经所述电离腔室产生的离子能经多个所述射出通道射出。 |
