一种碳化硅晶体生长装置及碳化硅晶体生长设备
基本信息
| 申请号 | CN202023163810.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215668293U | 公开（公告）日 | 2022-01-28 |
| 申请公布号 | CN215668293U | 申请公布日 | 2022-01-28 |
| 分类号 | C30B29/36（2006.01）I;C30B23/00（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 汪良;张洁 | 申请（专利权）人 | 湖南三安半导体有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 覃蛟 |
| 地址 | 410000湖南省长沙市高新开发区长沙岳麓西大道2450号环创园B1栋2405房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种碳化硅晶体生长装置及碳化硅晶体生长设备，属于碳化硅籽晶生长技术领域。该碳化硅晶体生长装置包括坩埚载具以及坩埚盖，坩埚载具设有用于装载碳化硅原料的装载部，坩埚盖设有用于固定碳化硅籽晶的固定部，坩埚盖沿高度方向可移动地套装在坩埚载具上，以使装载部与固定部之间的距离可调。该碳化硅晶体生长装置能够增加碳化硅晶体的生长高度。 |
