一种抛光载具
基本信息
| 申请号 | CN202023276732.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215148064U | 公开（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申请公布号 | CN215148064U | 申请公布日 | 2021-12-14 |
| 分类号 | B24B37/10（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 陈文鹏;张洁;林武庆;叶智荃 | 申请（专利权）人 | 湖南三安半导体有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 杨鹏 |
| 地址 | 410000湖南省长沙市高新开发区长沙岳麓西大道2450号环创园B1栋2405房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种抛光载具，涉及晶体生长技术领域。抛光载具包括底板及挡环，挡环安装在底板上，挡环与底板形成安装槽，安装槽用于安装样品，挡环采用弹性材料制成，可调节安装槽的深度。在本实用新型实施例中，挡环安装在底板上，并与底板形成安装槽，可以理解的是，挡环的厚度即为安装槽的深度，调节挡环的厚度即可调节安装槽的深度。挡环采用弹性材料制成，可以调节挡环的厚度，从而来调节安装槽的深度，以适应不同厚度的样品。在本实用新型实施例中，同一个抛光载具可以多种厚度的样品，在同时进行不同厚度的样品交叉加工时，可以不用拆换抛光载具，方便了样品的加工，加快了样品的加工速度，同时降低了成本。 |
