一种坩埚盖、坩埚及晶体生长装置

基本信息

申请号 CN202023340832.8 申请日 -
公开(公告)号 CN215163306U 公开(公告)日 2021-12-14
申请公布号 CN215163306U 申请公布日 2021-12-14
分类号 C30B29/36(2006.01)I;C30B23/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 廖弘基;张洁;陈华荣;杨树;陈泽斌;洪棋典 申请(专利权)人 湖南三安半导体有限责任公司
代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 覃蛟
地址 410000湖南省长沙市高新开发区长沙岳麓西大道2450号环创园B1栋2405房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种坩埚盖、坩埚及晶体生长装置,涉及结晶设备技术领域。坩埚盖包括盖体,盖体具有用于与籽晶粘接的粘接面,在盖体的粘接面上固定有多孔粘接层。在盖体的粘接面上固定多孔粘接层,可以有效的改善籽晶的粘接均匀性,提高籽晶粘接的质量,抑制籽晶背面出现的升华现象,能够有效减少晶体生长过程中六方空洞和微管等缺陷的产生,提高结晶的质量。