一种流体压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN201310611116.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103604556A | 公开（公告）日 | 2014-02-26 |
| 申请公布号 | CN103604556A | 申请公布日 | 2014-02-26 |
| 分类号 | G01L9/06(2006.01)I;G01L27/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王进朝;柳东强;郭玉刚;封玉军 | 申请（专利权）人 | 无锡市纳微电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 无锡市纳微电子有限公司 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新区菱湖大道97号立业楼E105 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明为一种流体压力传感器，包含取样管和与取样管配合连接的壳体底座，在壳体底座中设置有集成芯片，集成芯片由MEMS压力传感器芯片和校准芯片集成，并且MEMS压力传感器芯片和校准芯片相连接，其中，MEMS压力传感器芯片用于感测液体的压力，并将压力信号转换成电信号进行输出，校准芯片用于对MEMS压力传感器芯片的输出进行补偿。本发明通过在流体压力传感器的壳体底座中设置MEMS压力传感器芯片和校准芯片集成的集成芯片，能够缩小流体压力传感器。 |
