一种便于观察的芯片检查盘

基本信息

申请号 CN202023065657.6 申请日 -
公开(公告)号 CN214277923U 公开(公告)日 2021-09-24
申请公布号 CN214277923U 申请公布日 2021-09-24
分类号 G01N21/84(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 芮聪;杨吉明;匡华强;范宇;孙杰;张正贵 申请(专利权)人 江苏海德半导体有限公司
代理机构 北京轻创知识产权代理有限公司 代理人 陈晓华
地址 214400江苏省无锡市江阴市临港街道东徐路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种便于观察的芯片检查盘,包括检查盘主体和盖板,检查盘主体的中部为内凹,且检查盘主体中部设有若干放置孔,放置孔呈矩阵阵列分布,检查盘主体的前后两端设有两组开槽,盖板穿过对应组的开槽位于各放置孔的上方或者下方,该便于观察的芯片检查盘中,由盖板插入到对应组的开槽中,能够对芯片正反面进行快速限位,随后便于观察,进而提高了检测的效率,提高了检查盘的实用性。