一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN202121592014.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215103507U | 公开（公告）日 | 2021-12-10 |
| 申请公布号 | CN215103507U | 申请公布日 | 2021-12-10 |
| 分类号 | C23C14/35 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 崔福顺 | 申请（专利权）人 | 镇江三维真空光学有限公司 |
| 代理机构 | 盐城市苏知桥知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 耿丹丹 |
| 地址 | 212300 江苏省镇江市丹阳市云阳镇横塘（原横塘缫丝厂内） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了磁控溅射镀膜机的一种可调节溅射角度的磁控溅射镀膜机，包括镀膜箱，所述镀膜箱的内顶壁固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有载物架，所述镀膜箱的右侧壁安装有电子枪，所述镀膜箱的右侧壁转动连接有支撑轴，所述支撑轴的下方设置有转动组件，所述支撑轴的左端铰接有底座，所述支撑轴的外表面固定连接有连接板，所述连接板左侧面的下部铰接有电动推杆。本实用新型设计结构合理，它能够通过第二电机、第一齿轮、第二齿轮、支撑轴、底座、坩埚、镀膜箱、电动推杆以及凹槽的配合设置，对该装置的溅射角度进行调节，提高了该装置的镀膜效果，增加了该装置的实用性。 |
