一种用于电解法制备NF

基本信息

申请号 CN201920989125.X 申请日 -
公开(公告)号 CN210855277U 公开(公告)日 2020-06-26
申请公布号 CN210855277U 申请公布日 2020-06-26
分类号 C01B21/083(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 孙晓;车永强;李超楠;魏磊;王娟;高英武;李梅;杨亚琴 申请(专利权)人 洛阳昊华气体科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 471012 河南省洛阳市吉利区吉利科技园道南路黎明化工研究设计院吉利产业园办公楼103室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于电解法制备NF3的快速净化分析系统,包括气袋(1)、缓冲瓶(2)、碱液瓶(3),其特征是碱液瓶上装有分液漏斗(4),碱液瓶通过气体采样泵(5)连接三通(6);三通(6)一端通过过滤器(7)、气体干燥器(8)连接于气相色谱仪(9),三通(6)另一端通过针阀(11)和第一转子流量计(12)连接于气体回收管线;气相色谱仪(9)通过第二转子流量计(10)连接于气体回收管线;氮气瓶(13)依次通过减压阀(14)、球阀(15)、第三转子流量计(16)连接于气体干燥器(8)的反向吹扫气进口端,气体干燥器(8)的反向吹扫气出口端直接连接于气体回收管线。该系统能快速实现气体置换,提高分析效率,并实现碱洗瓶中碱液酸碱度的即时判断。