一种高纯气体充装系统
基本信息
| 申请号 | CN201921365461.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210662295U | 公开（公告）日 | 2020-06-02 |
| 申请公布号 | CN210662295U | 申请公布日 | 2020-06-02 |
| 分类号 | F17C5/06;F17C7/04;F17C13/04;F17C13/02;F17C13/00 | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 李贤武;王娟;弋明涛;张绪锐;王淑芳;徐朝莉 | 申请（专利权）人 | 洛阳昊华气体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 471012 河南省洛阳市吉利区吉利科技园道南路黎明化工研究设计院吉利产业园办公楼103室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种高纯气体充装系统，包括物料储罐部分、液泵部分、充装部分、PLC控制系统四个部分，物料储罐部分包括高纯气体储罐(1)、低压汽化器(2)；液泵部分包括液泵(3)和高压汽化器(4)；充装部分包括充装面板(5)、电子秤(6)和包装容器(20)，充装面板(5)上布置有过滤器(19)和隔膜阀V12，过滤器(19)和隔膜阀V12之间的管线上布置有氦气管(7)、真空管(9)、回收管(8)、分析管(10)、面板压力传感器(13)和真空计(14)；PLC控制系统包括液泵控制柜(15)、充装控制柜(16)。该高纯气体充装系统可以手动操作，也可实现自动充装。包装容器可以一支或多支如钢瓶或槽车的充装，过程高效、快捷。 |
