多源并行静电发生器
基本信息
| 申请号 | CN202023327466.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214150821U | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN214150821U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | G01R1/28（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王锋;钱卫东 | 申请（专利权）人 | 苏州索拉科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州翔远专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘计成 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市十梓街327号303室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多源并行静电发生器，包括多路静电激发源、控制机盒和控制器，控制机盒内设有程控基准高压源，多路可选择并行逻辑控制电路，可编程逻辑模组，所述程控基准高压源、多路可选择并行逻辑控制电路与所述可编程逻辑模组连接，所述程控基准高压源、多路可选择并行逻辑控制电路与所述多路静电激发源连接，所述程控基准高压源用于向所述路静电激发源提供基础电源，所述多路可选择并行逻辑控制电路用于控制所述多路静电激发源输出。本实用新型克服了过去半导体晶圆片产线静电测试效率不高的问题，有效提升产线测试速度和生产速度，速度可提高4倍，大幅提高半导体晶圆片产线的产量，降低行业综合成本，有效提高行业单位时间的利润。 |
