一种含水性感光树脂及其光致抗蚀剂干膜
基本信息
| 申请号 | CN202110712446.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113419403A | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN113419403A | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | G03F7/004（2006.01）I;G03F7/027（2006.01）I;C08F220/18（2006.01）I;C08F220/04（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 刘罡 | 申请（专利权）人 | 江西惠美兴科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 341000江西省赣州市安远县版石工业区荣晖工业园6号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明制备了一种含水溶性丙烯酸酯感光树脂及其光致抗蚀剂干膜，该抗蚀剂干膜主要含（1）水溶性丙烯酸树脂、（2）光聚合化合物、（3）光起始剂及（4）其它助剂等原料。其可作为光阻涂料用于干膜光阻，并最终应用于印刷电路板等电子元器件的生产。其中水溶性丙烯酸酯由一定比例的2‑乙基丙烯酸、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯甲基、丙烯酸仲丁酯及丙烯酸异辛酯等合成而得。该光致抗蚀剂干膜的分辨率、附着力性能及线路尺寸稳定性优良，在印刷电路及其他电子元器件上具有广阔的应用前景。 |
