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一种掩膜提篮

基本信息

申请号 CN201520799305.3 申请日 -
公开（公告）号 CN204966469U 公开（公告）日 2016-01-13
申请公布号 CN204966469U 申请公布日 2016-01-13
分类号 H01L21/673(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 徐彬;王福强 申请（专利权）人 山东百利通亚陶科技有限公司
代理机构 济南舜源专利事务所有限公司 代理人 山东百利通亚陶科技有限公司
地址 250103 山东省济南市高新区开拓路2333号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种掩膜提篮。在盒体内中部设有垂直于盒体后侧板的立板，立板从上到下间隔设有若干个向左凹的左凹槽，立板从上到下间隔设有若干个向右凹的右凹槽，左凹槽和右凹槽交错设置，在与每个左凹槽的开口正对应的盒体右侧板内侧面上设有右凸台，在与每个右凹槽的开口正对应的盒体左侧板内侧面上设有左凸台，在立板的左凹槽和右凹槽上密布有若干个第一漏孔，在盒体的左侧板、右侧板、后侧板上密布有若干个第二漏孔。本实用新型在充分利用盒体内空间的情况下，使用时增加了上下相邻两掩膜之间的距离，从而便于工人抽出掩膜，提高了工作效率，并且不易使污染物存储在左凸台、右凸台处，不会对晶片造成污染。