一种晶片清洗治具

基本信息

申请号 CN201520799133.X 申请日 -
公开(公告)号 CN204966458U 公开(公告)日 2016-01-13
申请公布号 CN204966458U 申请公布日 2016-01-13
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 解则升;吕尧池 申请(专利权)人 山东百利通亚陶科技有限公司
代理机构 济南舜源专利事务所有限公司 代理人 闫晓燕
地址 250103 山东省济南市高新区开拓路2333号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种晶片清洗治具,桁架一可以相对于支柱一和支柱二上下滑动,桁架二可以相对于支柱三、支柱四上下滑动。支架组件一与支架组件二之间设有至少一根水管,水管分别与所述桁架一和所述桁架二垂直连接,桁架一、桁架二和水管始终保持在同一水平面上,水管可以根据桁架一和桁架二的在支柱一和支柱二,支柱三、支柱四上下滑动调整高度,这样在清洗晶片时,可以形成雾状滴水,使漂浮在水面上的晶片浸入水中,实现彻底清洗,并保证清洗效率,该晶片清洗治具结构布局合理,易于安装。