一种晶片清洗治具
基本信息
申请号 | CN201520799133.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN204966458U | 公开(公告)日 | 2016-01-13 |
申请公布号 | CN204966458U | 申请公布日 | 2016-01-13 |
分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 解则升;吕尧池 | 申请(专利权)人 | 山东百利通亚陶科技有限公司 |
代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 | 代理人 | 闫晓燕 |
地址 | 250103 山东省济南市高新区开拓路2333号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供一种晶片清洗治具,桁架一可以相对于支柱一和支柱二上下滑动,桁架二可以相对于支柱三、支柱四上下滑动。支架组件一与支架组件二之间设有至少一根水管,水管分别与所述桁架一和所述桁架二垂直连接,桁架一、桁架二和水管始终保持在同一水平面上,水管可以根据桁架一和桁架二的在支柱一和支柱二,支柱三、支柱四上下滑动调整高度,这样在清洗晶片时,可以形成雾状滴水,使漂浮在水面上的晶片浸入水中,实现彻底清洗,并保证清洗效率,该晶片清洗治具结构布局合理,易于安装。 |
