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一种负压承载装置

基本信息

申请号 CN201520799135.9 申请日 -
公开（公告）号 CN204991666U 公开（公告）日 2016-01-20
申请公布号 CN204991666U 申请公布日 2016-01-20
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 亓凯 申请（专利权）人 山东百利通亚陶科技有限公司
代理机构 济南舜源专利事务所有限公司 代理人 山东百利通亚陶科技有限公司
地址 250103 山东省济南市高新区开拓路2333号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种负压承载装置。它包括承载座、吸尘分类装置和抽真空装置；承载座包括底座，支架将凹腔分隔为若干个凹腔单体，在支架上固连有盖合凹腔的盖板，盖板上密布有若干个与凹腔相连通的吸孔，在承载座一侧设有气体分流器，每个凹腔单体通过第一管路与气体分流器相连；吸尘分类装置包括箱体，两挡板与箱体内壁之间形成铁屑收集室，两挡板之间的箱体底部设有出气孔，在箱盖上设有进气孔，气体分流器通过第二管路与进气孔相连；抽真空装置通过第三管路与出气孔相连。本实用新型使用时将掩膜的拆卸工序放在承载座上进行，承载座上表面形成负压状态，螺丝间残存的铁屑、脏污能够通过吸孔清除，从而保证了产品的质量，维护了生产环境。