一种无氰碱铜电镀液及电镀方法

基本信息

申请号 CN202010692867.3 申请日 -
公开(公告)号 CN111850629A 公开(公告)日 2020-10-30
申请公布号 CN111850629A 申请公布日 2020-10-30
分类号 C25D3/38(2006.01)I 分类 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕;
发明人 李树泉;闵星;谢金平;李宁;范小玲 申请(专利权)人 广东致卓环保科技有限公司
代理机构 佛山市禾才知识产权代理有限公司 代理人 广东致卓环保科技有限公司
地址 528000广东省佛山市南海区狮山镇长虹岭工业园长兴西路3号(车间8)A区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种无氰碱铜电镀液及电镀方法,所述无氰碱铜电镀液包括含量为50~100g/L的羟基乙叉二膦酸、4~10g/L的可溶性铜盐、50~90g/L的导电盐、0.4~1.0g/L的表面活性剂和30~50g/L的辅助络合剂。所述无氰碱铜电镀液,具有较好的分散力和深镀能力,对阴极表面的润湿能力好,减小了镀液与基体界面的表面张力,镀液性能优异,采用所述无氰碱铜电镀液的电镀效率高,能够获得的孔隙率低、镀层质量良好的打底镀层。