一种无氰碱铜电镀液及电镀方法
基本信息
申请号 | CN202010692867.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111850629A | 公开(公告)日 | 2020-10-30 |
申请公布号 | CN111850629A | 申请公布日 | 2020-10-30 |
分类号 | C25D3/38(2006.01)I | 分类 | 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕; |
发明人 | 李树泉;闵星;谢金平;李宁;范小玲 | 申请(专利权)人 | 广东致卓环保科技有限公司 |
代理机构 | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 | 代理人 | 广东致卓环保科技有限公司 |
地址 | 528000广东省佛山市南海区狮山镇长虹岭工业园长兴西路3号(车间8)A区 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种无氰碱铜电镀液及电镀方法,所述无氰碱铜电镀液包括含量为50~100g/L的羟基乙叉二膦酸、4~10g/L的可溶性铜盐、50~90g/L的导电盐、0.4~1.0g/L的表面活性剂和30~50g/L的辅助络合剂。所述无氰碱铜电镀液,具有较好的分散力和深镀能力,对阴极表面的润湿能力好,减小了镀液与基体界面的表面张力,镀液性能优异,采用所述无氰碱铜电镀液的电镀效率高,能够获得的孔隙率低、镀层质量良好的打底镀层。 |
