一种限位装置及设有该限位装置的满提拉清洗系统
基本信息
| 申请号 | CN202022904194.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213958914U | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN213958914U | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王大伟;武治军;危晨;赵越;李建弘;范俊杰 | 申请（专利权）人 | 天津市环智新能源技术有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 栾志超 |
| 地址 | 300450天津市滨海新区塘沽海洋科技园康祥道32号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种限位装置，用于控制倾斜设置在水槽中的放置架位置，包括使所述放置架水平设置的限位组件一和限位组件二，所述限位组件一和所述限位组件二均被设置于所述水槽内，且分别位于所述放置架的下限位置处和上限位置处。本实用新型还提出设有该限位装置的满提拉清洗系统。本实用新型提出的限位装置，能使倾斜设置的放置架在上限位置和下限位置时被水平设置，保证片篮在放置架上被放置或取出时平稳托载，同时还不影响片篮中的硅片在上升清洗过程中的倾斜设置，结构简单且易于操作，与倾斜设置的放置架配合良好，保持放置架上下限位置的精准控制。 |
