一种可调慢提拉清洗系统
基本信息
| 申请号 | CN202022901183.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213716849U | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN213716849U | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王大伟;武治军;危晨;赵越;李建弘;范俊杰 | 申请（专利权）人 | 天津市环智新能源技术有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 栾志超 |
| 地址 | 300450天津市滨海新区塘沽海洋科技园康祥道32号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种可调慢提拉清洗系统，在水槽内具有：用于放置片篮的承载装置；以及用于限定所述承载装置升降位置的限位装置；其中，所述承载装置靠近所述片篮一侧的平面被设置为沿所述水槽长度方向任一侧倾斜设置；所述承载装置带动所述片篮倾斜地沿所述水槽高度方向上下移动；所述限位装置使所述承载装置在所述承载装置下限位置和上限位置时使所述承载装置靠近所述片篮一侧的平面水平设置。本实用新型可使硅片快速脱水，同时也使片篮中的水液完全被释放沥净，无任何水液残留，硅片表面清洗干净，无水印残留，烘干效果好，节约资源且提高烘干效率，与硅片及片篮放置架的尺寸和形状无关，实用性强且易于推广。 |
