一种太阳能硅片清洗系统
基本信息
| 申请号 | CN202022863634.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213716841U | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN213716841U | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | H01L21/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李建弘;危晨;刘涛;赵越;唐昊 | 申请（专利权）人 | 天津市环智新能源技术有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 栾志超 |
| 地址 | 300450天津市滨海新区塘沽海洋科技园康祥道32号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种太阳能硅片清洗系统，包括用于对硅片进行清洗的预清洗部、用于对硅片进行药液清洗的药液清洗部、用于对硅片进行氧化清洗的氧化清洗部和用于对硅片进行烘干的烘干部，还包括用于对硅片进行低温氧化清洗的低温氧化清洗部、用于对硅片进行氧化去除的氧化去除部和用于对硅片进行漂洗的第一漂洗部，预清洗部、低温氧化清洗部、氧化去除部、第一漂洗部、药液清洗部、氧化清洗部与烘干部依次设置，对硅片依次进行清洗。本实用新型的有益效果是在低温环境下对硅片进行清洗，降低金属离子在硅片中的扩散速度，减少硅片金属离子含量，提高硅片少数载流子寿命，提高硅片性能，提升太阳能电池转换效率。 |
