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一种片篮承载装置及设有该承载装置的满提拉清洗系统

基本信息

申请号 CN202022901092.4 申请日 -
公开（公告）号 CN213716848U 公开（公告）日 2021-07-16
申请公布号 CN213716848U 申请公布日 2021-07-16
分类号 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 王大伟;武治军;危晨;赵越;李建弘;范俊杰 申请（专利权）人 天津市环智新能源技术有限公司
代理机构 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 栾志超
地址 300450天津市滨海新区塘沽海洋科技园康祥道32号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种片篮承载装置，至少包括托盘架和用于放置片篮的放置架，所述放置架沿其长度方向任一侧被倾斜设置在所述托盘架上方，所述托盘架托起倾斜设置的所述放置架上下移动。本实用新型还提出一种设有该承载装置的满提拉清洗系统。本实用新型提出的承载装置，能使载有硅片的片篮在上升或下降的清洗过程中被稳定倾斜放置，同时还可使其在上限位置和下限位置时被水平设置，保证片篮在放置或取出时被水平托载，同时还可使片篮在放置时被精准放置在承载装置中；结构简单且易于调节，可加速硅片表面水液的流动，清洗效果好，保证硅片表面质量，且片篮中不易有水液残留。