一种太阳能硅片清洗方法、硅片、电池、组件及清洗系统
基本信息
申请号 | CN202011399155.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112420494A | 公开(公告)日 | 2021-02-26 |
申请公布号 | CN112420494A | 申请公布日 | 2021-02-26 |
分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 李建弘;危晨;刘涛;赵越;唐昊 | 申请(专利权)人 | 天津市环智新能源技术有限公司 |
代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 栾志超 |
地址 | 300450天津市滨海新区塘沽海洋科技园康祥道32号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种太阳能硅片清洗方法,对硅片进行药液清洗和氧化清洗之前,对硅片依次进行低温氧化清洗和氧化去除,其中,在进行低温氧化清洗时,采用低温氧化溶液对硅片进行清洗,在硅片表面形成氧化层;在进行氧化去除时,采用酸溶液对硅片进行清洗,去除硅片表面氧化层。本发明的有益效果是在低温环境下对硅片进行清洗,降低金属离子在硅片中的扩散速度,减少硅片金属离子含量,提高硅片少数载流子寿命,提高硅片性能,提升太阳能电池转换效率。 |
