一种电子级超纯氨水的吸收装置
基本信息
| 申请号 | CN202020504017.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212222436U | 公开（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申请公布号 | CN212222436U | 申请公布日 | 2020-12-25 |
| 分类号 | C01C1/02(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 冯烈;许京伟;刘尚文;金波;张磊 | 申请（专利权）人 | 浙江建业微电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 浙江建业化工股份有限公司;浙江建业微电子材料有限公司 |
| 地址 | 311600浙江省杭州市建德市梅城镇严东关路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及电子化学品生产设备领域，提供一种电子级超纯氨水的吸收装置，包括超纯氨气进气管、超纯水进水管、吸收塔、出料管，所述吸收塔为逆流操作的填料塔，包括位于上部的塔体与位于下部的塔釜，塔体内部包括从上至下依次设置的分布器、第一填料、第二填料，塔釜底部连接有一循环管且循环管的另一端与分布器上方的塔体侧壁相连，循环管从下端到上端依次设有隔膜泵、过滤单元、检测单元，检测单元与循环管上端之间的循环管上连接有出料管。该装置循环充分，循环效率高，降低了成本；且料液在循环时还通过设在循环管上的过滤单元，可以去除在吸收塔内或是循环过程中引入的杂质，提高了终产品的纯度。 |
