一种适用于电子级氨气与氨水的生产装置及其生产方法
基本信息
| 申请号 | CN202111094020.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113603113A | 公开（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申请公布号 | CN113603113A | 申请公布日 | 2021-11-05 |
| 分类号 | C01C1/02（2006.01）I;B01D3/00（2006.01）I;B01D3/14（2006.01）I;B01D53/18（2006.01）I;B01D53/14（2006.01）I;B01D53/22（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 刘尚文;陈云斌;顾海燕;孙振波;张金霞;齐庆辰 | 申请（专利权）人 | 浙江建业微电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 | 代理人 | 盛影影 |
| 地址 | 311600浙江省杭州市建德市梅城镇建德高新技术产业园五马州区块 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种适用于电子级氨气与氨水的生产装置及其生产方法，涉及化工技术领域，包括依次连通的蒸发器、气液分离器、吸附装置、第一精馏装置、第二精馏装置、第一洗涤装置、第二洗涤装置、吸收装置和过滤装置；其中，第一精馏装置和第二精馏装置之间设有热耦合装置，第二精馏装置具有塔顶出气口、第一进口和第二进口，热耦合装置具有液氨进口、热气进口、热气出口和液氨出口，液氨出口与第一进口相连通，第一精馏装置与第二进口相连通，塔顶出气口分别与热气进口、第一洗涤装置和氨气储存装置相连通。本申请中的生产装置可以同时适用于电子级氨气与电子级氨水的生产，且提高了能耗利用率，进而降低了生产成本。 |
