氨吸收装置以及制备超净高纯氨水的方法
基本信息
| 申请号 | CN201310452318.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103466655B | 公开（公告）日 | 2016-06-22 |
| 申请公布号 | CN103466655B | 申请公布日 | 2016-06-22 |
| 分类号 | C01C1/02(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 冯烈;许振良;陈云斌;魏永明;刘询;马晓华;张金霞;顾斯文 | 申请（专利权）人 | 浙江建业微电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 杭州裕阳专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 应圣义 |
| 地址 | 311604 浙江省杭州市建德市梅城镇府西路48号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种高纯度氨水吸收装置以及工艺，公开了一种使用高纯材料构建的氨吸收装置，包括依次连接的液氨罐、氨气脱油装置、氨气脱颗粒装置、氨吸收器以及超净高纯氨水储存槽，还公开了一种使用上述氨吸收装置的超净高纯氨水制备方法。本发明的优点在于，可以制备超净高纯氨水，装置结构简单，所需工艺步骤少，吸收快速，产量高，节能高效，无三废排放，符合绿色环保的要求，且符合工业大规模制造的需要，具有较好的应用价值。 |
