一种高吸附的电子级氨水制造系统
基本信息
| 申请号 | CN202010279186.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111498867A | 公开（公告）日 | 2020-08-07 |
| 申请公布号 | CN111498867A | 申请公布日 | 2020-08-07 |
| 分类号 | C01C1/02 | 分类 | - |
| 发明人 | 冯烈;刘尚文;陈云斌;许京伟;金波 | 申请（专利权）人 | 浙江建业微电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 浙江建业微电子材料有限公司;浙江建业化工股份有限公司 |
| 地址 | 311600 浙江省杭州市建德市建德高新技术产业园姜山路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及电子级氨水的制造技术领域，针对现有技术的氨水中含有杂质较多及设备能耗较高的问题，公开了一种高吸的率电子级氨水制造系统，包括蒸发器、第一气液分离器、吸附单元、第二气液分离器、洗涤单元及吸收单元，上述设备之间依次连接，所述吸附单元内设有改性吸附材料，所述洗涤单元内设有洗涤填料区，所述洗涤填料区位于所述洗涤单元的进口与出口之间，所述吸收单元内侧的进口与出口之间设有吸收填料区。制备得到杂质吸附效率高的制造系统，该系统制备过程的洗涤与吸收在常压或微正压下进行，采用具有磁性定向吸附能力及超大比表面能的改性吸附材料，最终得到氨水质量浓度较高、金属离子含量较低及性能优异稳定的电子级氨水。 |
