无变频三维阵列等离子共振传感器及其应用
基本信息
| 申请号 | CN201710351412.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106959286A | 公开（公告）日 | 2017-07-18 |
| 申请公布号 | CN106959286A | 申请公布日 | 2017-07-18 |
| 分类号 | G01N21/59 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘钢;许浩 | 申请（专利权）人 | 量准（上海）实业有限公司 |
| 代理机构 | 北京金蓄专利代理有限公司 | 代理人 | 马贺 |
| 地址 | 200233 上海市徐汇区田林路388号新业大楼1号楼501 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种无变频三维阵列等离子共振传感器，包括等离子共振基底，为纳米结构的空腔阵列，其上覆盖多层材料结构层，包括从下至上依次排布的第一金属层、绝缘层和第二金属层，该多层材料结构层在基底内形成内嵌于所述等离子共振传感器中的光学谐振腔阵列，所述光学谐振腔为锥形杯状的空腔。解决了现有技术等离子共振传感器检测灵敏度有限，且装置大型不便于携带的技术问题，实现了超灵敏、免标记的生物分子检测，为实现早期发现疾病生物标记物的便携式医用生物传感器的开提供基础。 |
