一种用于蒸发镀膜工艺的圆片固定装置
基本信息
| 申请号 | CN202011561919.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112795889A | 公开（公告）日 | 2021-05-14 |
| 申请公布号 | CN112795889A | 申请公布日 | 2021-05-14 |
| 分类号 | C23C14/50;C23C14/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 施德恺 | 申请（专利权）人 | 浙江智卓工业机器人有限公司 |
| 代理机构 | 杭州高盟专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 单燕君 |
| 地址 | 325200 浙江省温州市瑞安市云周街道城乡配送中心525（侨贸小镇） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于蒸发镀膜工艺的圆片固定装置，包括连接转盘，连接转盘设有两个，两个连接转盘之间固定连接有一号连接杆，两个一号连接杆相对等距开凿设有若干一号插槽，两个连接转盘的外壁之间连接有若干连接板，连接板的上下两端均固定连接有挂板，连接板等距开凿设有若干一号插孔，本固定装置能够根据不同形状的物料选择不同种类的夹具，增加本装置的适用范围，夹持机构设置的双向的推杆，能够对产品的内壁与外壁进行夹持，提高本夹具的适用范围，夹具上的连接块能够相互远离，可根据圆片的大小进行调节，本发明设置有限位杆，通过限位杆插入一号插块内，防止固定装置在转动镀膜过程中夹具被甩出。 |
