一种静电除尘装置及磁控溅射系统
基本信息
| 申请号 | CN201822167453.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209798088U | 公开（公告）日 | 2019-12-17 |
| 申请公布号 | CN209798088U | 申请公布日 | 2019-12-17 |
| 分类号 | C23C14/35;B08B6/00 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 郭汉镇 | 申请（专利权）人 | 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 代理机构 | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 | 代理人 | 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 地址 | 251200 山东省德州市(禹城)国家高新技术产业开发区振兴大道汉能光伏产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种静电除尘装置及磁控溅射系统,所述静电除尘装置设于磁控溅射的真空腔内，包括静电板、连接件、正电压载体和负电压载体；所述静电板为绝缘板；所述连接件的两端分别与所述真空腔的内壁和所述静电板连接；所述正电压载体和所述负电压载体分别贯穿所述绝缘板；所述正电压载体和所述负电压载体平行。所述静电板的不同位置能够带不同电压，对于芯片上带正电荷或负电荷的灰尘颗粒会被相应的异性电压吸引，因此灰尘颗粒会被吸附于所述静电板上，避免了所述芯片上灰尘颗粒的存在和影响，提高了芯片的脱模质量，避免了高密度的维护，提高了生产效率，降低了成本投入。 |
