一种自定位自动压紧进电组件装置
基本信息
| 申请号 | CN201520517264.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204982043U | 公开（公告）日 | 2016-01-20 |
| 申请公布号 | CN204982043U | 申请公布日 | 2016-01-20 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 智海龙 | 申请（专利权）人 | 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 代理机构 | 济南泉城专利商标事务所 | 代理人 | 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 地址 | 251200 山东省德州市禹城市高新区振兴大道汉能光伏产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种自定位自动压紧进电组件装置。本一种自定位自动压紧进电组件装置，包括：进电组件保护机构，其包括套设并固定于进电组件上的可在进电组件作业过程中对进电组件起到杜绝应力集中进而360度保护的喇叭口卡槽；其包括锥形六角紧固电极头、锥形电极母头、安装于电极杆上的屏蔽管和套设于屏蔽管上的可使进电组件自动定位同时方便查看锥形六角紧固电极头状况的定位喇叭口锁座，锥形电极母头由锥面自动定位连接锥形六角紧固电极头；自动压紧进电组件机构，其为在PECVD工序中工件架进入沉积炉移动到位的同时使进电组件自动压紧、工艺结束出炉时工件架离开沉积炉限位的同时使进电组件自动松开的杠杆自动压紧机构。 |
