一种低应力MEMS惯性传感器测试夹具专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种低应力MEMS惯性传感器测试夹具

基本信息

申请号	CN201920995788.2	申请日	-
公开（公告）号	CN210036751U	公开（公告）日	2020-02-07
申请公布号	CN210036751U	申请公布日	2020-02-07
分类号	G01C25/00;G01R1/04;G01R31/28	分类	测量；测试;
发明人	陈首任;王雪峰;刘杨;付朝辉;喻伟;张广平	申请（专利权）人	成都华托微纳智能传感科技有限公司
代理机构	北京中索知识产权代理有限公司	代理人	成都华托微纳智能传感科技有限公司
地址	610000 四川省成都市双流区公兴街道货运大道868号仓储横一路88号附3号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种低应力MEMS惯性传感器测试夹具，包括固定板和测试底板；固定板中部设有用于放置并限位固定待测MEMS惯性传感器的贯穿固定板厚度方向的容纳腔；测试底板设有安装通孔，安装通孔内设有双头弹簧测试探针针头，探针一头凸出于测试底板上表面，另一头凸出于测试底板下表面，测试底板下表面的探针针头用于与测试电路板连接，所有测试底板上表面的针头位于容纳腔范围内；固定板和测试底板叠合并通过异方性导电胶膜粘合连接，异方性导电胶膜覆盖所有凸出于测试底板上表面的针头。通过本实用新型，既能保证MEMS惯性传感器与测试电路板之间稳定的电连接，又能通过异方性导电胶膜的粘性固定MEMS惯性传感器而不对其施加压力，使测试结果更真实。