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一种可控压力的MEMS惯性传感器测试夹具

基本信息

申请号	CN201920995739.9	申请日	-
公开（公告）号	CN210036750U	公开（公告）日	2020-02-07
申请公布号	CN210036750U	申请公布日	2020-02-07
分类号	G01C25/00;G01R1/04;G01R31/28	分类	测量；测试;
发明人	陈首任;王雪峰;刘杨;付朝辉;喻伟;张广平	申请（专利权）人	成都华托微纳智能传感科技有限公司
代理机构	北京中索知识产权代理有限公司	代理人	成都华托微纳智能传感科技有限公司
地址	610000 四川省成都市双流区公兴街道货运大道868号仓储横一路88号附3号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种可控压力的MEMS惯性传感器测试夹具，包括测试底板、中间板和上层盖板；所述测试底板设有安装通孔，安装通孔内设有双头弹簧测试探针针头，探针一头凸出于测试底板上表面，探针另一头凸出于测试底板下表面；所述中间板设有用于放置并限位固定待测MEMS惯性传感器的贯穿中间板厚度方向的容纳腔，所有测试底板上表面的测试探针针头位于容纳腔范围内，中间板的厚度小于待测MEMS惯性传感器的厚度；测试底板、中间板和上层盖板三者叠合放置并采用至少两个螺钉连接。本实用新型结构简单，安装方便，能够调控对MEMS惯性传感器的压力，针对不同MEMS惯性传感器采用不同的测试压力，以达到MEMS惯性传感器的最优性能，使得测试结果更准确。