一种电容式MEMS加速度计
基本信息
| 申请号 | CN202021037658.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212031528U | 公开（公告）日 | 2020-11-27 |
| 申请公布号 | CN212031528U | 申请公布日 | 2020-11-27 |
| 分类号 | G01P15/125(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张广平;白龙;刘杨;陈首任;万育彰 | 申请（专利权）人 | 成都华托微纳智能传感科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京中索知识产权代理有限公司 | 代理人 | 成都华托微纳智能传感科技有限公司 |
| 地址 | 610000四川省成都市中国（四川）自由贸易试验区成都市双流区公兴街道货运大道868号仓储横一路88号附3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种电容式MEMS加速度计，包括第一固定部，第二固定部，质量块，支撑梁，固定框架；所述第一固定部和第二固定部上分别设有的多块第一定极板和第二定极板与质量块上设有的可动极板平行交叉排列；所述第一定极板与可动极板形成电容器C1，第二定极板与可动极板形成电容器C2；所述第一定极板，第二定极板，可动极板上均设有刻蚀孔；所述质量块右端通过支撑梁与固定框架相连接。本实用新型通过在加速度计电容极板上设计一系列的刻蚀孔，使电容极板形成桁架结构，很大程度上提高了极板刚度，降低了极板因为急剧加速度信号而粘附或损坏的风险，具有极低的机械噪声，广阔的使用前景。 |
